Influence of oxide processing on the defects at the SiC-SiO2 interface measured by electrically detected magnetic resonance

Gernot Gruber*, Thomas Aichinger, Gregor Pobegen, Dethard Peters, Markus Koch, Peter Hadley

*Korrespondierende/r Autor/-in für diese Arbeit

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/KonferenzbandBeitrag in einem KonferenzbandBegutachtung

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