In situ heating studies of diffusion barrier layers for semiconductor devices

Publikation: KonferenzbeitragPoster

Originalspracheenglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2017
VeranstaltungMicroscopy Conference 2017 - Lausanne, Schweiz
Dauer: 21 Aug 201725 Aug 2017
http://www.mc2017.ch/

Konferenz

KonferenzMicroscopy Conference 2017
KurztitelMC 2017
LandSchweiz
OrtLausanne
Zeitraum21/08/1725/08/17
Internetadresse

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  • !!Materials Science(all)

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  • Advanced Materials Science

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  • Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)

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