In-situ Correlative Analysis of Electrical and Mechanical Properties of 3D Nanostructures by Combination of AFM, SEM and FIB

C. Schwalb, Pinar Frank, Stefan Hummel, Jürgen Sattelkow, Robert Winkler, Johanna Hütner, G.E. Fantner, Harald Plank

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftDiskussion

Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)1800-1801
Seitenumfang2
FachzeitschriftMicroscopy and Microanalysis
Jahrgang26
AusgabenummerS2
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 30 Jul 2020

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