Impact of the NO Anneal on the Microscopic Structure and Chemical Composition of the Si‐Face 4H‐SiC/SiO2 Interface

Gernot Gruber, Christian Gspan, Evelin Fisslthaler, Martina Dienstleder, Gregor Pobegen, Thomas Aichinger, Robert Meszaros, Werner Grogger, Peter Hadley

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)1800022
Seitenumfang7
FachzeitschriftAdvanced energy materials
Jahrgang5
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2018

ASJC Scopus subject areas

  • !!Materials Science(all)

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)

Dieses zitieren