Impact of the NO Anneal on the Microscopic Structure and Chemical Composition of the Si‐Face 4H‐SiC/SiO2 Interface

Gernot Gruber, Christian Gspan, Evelin Fisslthaler, Martina Dienstleder, Gregor Pobegen, Thomas Aichinger, Robert Meszaros, Werner Grogger, Peter Hadley

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)1800022
Seitenumfang7
FachzeitschriftAdvanced energy materials
Jahrgang5
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PublikationsstatusVeröffentlicht - 2018

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Impact of the NO Anneal on the Microscopic Structure and Chemical Composition of the Si‐Face 4H‐SiC/SiO2 Interface. / Gruber, Gernot; Gspan, Christian; Fisslthaler, Evelin; Dienstleder, Martina; Pobegen, Gregor; Aichinger, Thomas; Meszaros, Robert ; Grogger, Werner; Hadley, Peter.

in: Advanced energy materials, Jahrgang 5, 2018, S. 1800022.

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

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TY - JOUR

T1 - Impact of the NO Anneal on the Microscopic Structure and Chemical Composition of the Si‐Face 4H‐SiC/SiO2 Interface

AU - Gruber, Gernot

AU - Gspan, Christian

AU - Fisslthaler, Evelin

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AU - Aichinger, Thomas

AU - Meszaros, Robert

AU - Grogger, Werner

AU - Hadley, Peter

PY - 2018

Y1 - 2018

U2 - 10.1002/admi.201800022

DO - 10.1002/admi.201800022

M3 - Article

VL - 5

SP - 1800022

JO - Advanced energy materials

JF - Advanced energy materials

SN - 1614-6832

ER -