High dose proton implantations into silicon: a combined EBIC, SRP and TEM study

Stefan Kirnstötter, Martin Faccinelli, Christian Gspan, Werner Grogger, Moriz Jelinek, Werner Schustereder, Johannes G. Laven, Hans-Joachim Schulze, Peter Hadley

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)1610-1642
FachzeitschriftPhysica status solidi / C
Jahrgang1
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2014

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Application
  • Experimental

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