Fundamental resolution limits during focused electron beam induced deposition on bulk substrates

Georg Arnold, Roland Schmied, R. Timilsina, J.D. Fowlkes, Angelina Orthacker, Gerald Kothleitner, P.D. Rack, Harald Plank

Publikation: Konferenzbeitrag(Altdaten) Vortrag oder Präsentation

Originalspracheenglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 22 Jul 2014
VeranstaltungFEBIP 2014 - Frankfurt, Deutschland
Dauer: 22 Jul 2014 → …

Konferenz

KonferenzFEBIP 2014
LandDeutschland
OrtFrankfurt
Zeitraum22/07/14 → …

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)
  • Experimental

Dieses zitieren

Arnold, G., Schmied, R., Timilsina, R., Fowlkes, J. D., Orthacker, A., Kothleitner, G., ... Plank, H. (2014). Fundamental resolution limits during focused electron beam induced deposition on bulk substrates. FEBIP 2014, Frankfurt, Deutschland.