Fundamental Resolution Limits during Electron-Induced Direct-Write Synthesis

Georg Arnold, Rajendra Timislina, Jason Fowlkes, Angelina Orthacker, Gerald Kothleitner, Philip D. Rack, Harald Plank

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)7380-7387
FachzeitschriftACS Applied Materials & Interfaces
Ausgabenummer6
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2014

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)

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