Fabrication of advanced functional devices combining soft chemistry with X-ray lithography in one step

Paolo Falcaro*, Luca Malfatti, Lisa Vaccari, Heinz Amenitsch, Benedetto Marmiroli, Gianluca Grenci, Plinio Innocenzi

*Korrespondierende/r Autor/-in für diese Arbeit

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikelBegutachtung

Abstract

Deep X-ray lithography combined with sol-gel techniques offers facile fabrication of controlled patterned films. Using sol-gel, different functional properties can be induced; deep X-ray lithography alters the functionality in the exposed regions. Miniaturized devices based on local property changes are easily fabricated: this technique requires no resist, enabling direct patterning of films in a one-step lithographic process. (Figure Presented).

Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)4932-4936
Seitenumfang5
FachzeitschriftAdvanced Materials
Jahrgang21
Ausgabenummer48
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 28 Dez 2009
Extern publiziertJa

ASJC Scopus subject areas

  • Werkstoffwissenschaften (insg.)
  • Werkstoffmechanik
  • Maschinenbau

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