Evaluation of thermal and growth stresses in heteroepitaxial AlN thin films formed on (0001) sapphire by pulsed laser ablation

J. Keckes, S. Six, W. Tesch, Roland Resel, B. Rauschenbach

Institut für Festkörperphysik (5130)

Publikation: Beitrag in einer Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

1 Ergebnisse

Laufend
High temperature attachment for 4-circle x-ray diffractometers
Eiper, E., Sonderegger, B., Resel, R., Koini, M. & Tamas, E.
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Projekt: Arbeitsgebiet