Erzeugung von Lackstrukturen kleiner 0,35 müm mit Hilfe von i-line Steppern und auflösungsverbessernden Maßnahmen

K. Stöflin, A. Behrendt, Theo Neger

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/KonferenzbandBeitrag in einem Konferenzband

Originalsprachedeutsch
Titel56. Jahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft
Herausgeber (Verlag).
Seiten122-123
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2006
VeranstaltungJahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft - Graz, Österreich
Dauer: 18 Sep 200621 Sep 2006

Konferenz

KonferenzJahrestagung der Österreichischen Physikalischen Gesellschaft
LandÖsterreich
OrtGraz
Zeitraum18/09/0621/09/06

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