Electron-Beam-Assisted Oxygen Purification at Low Temperatures for Electron-Beam-Induced Pt Deposits: Towards Pure and High-Fidelity Nanostructures

Harald Plank, Joo Hyon Noh, Jason Fowlkes, Kevin Lester, Brett B. Lewis, Philip D. Rack

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikel

Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)1018-1024
FachzeitschriftACS Applied Materials & Interfaces
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2014

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)

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