Efficient Temperature Profile Estimation for Silicon Wafers based on Subspace Observers

Markus Tranninger, Richard Seeber, Martin Steinberger, Martin Horn

Institut für Regelungs- und Automatisierungstechnik (4430)

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Konferenzband › Beitrag in einem Konferenzband › Begutachtung

1 Ergebnisse

Abgeschlossen
Verlaesslichkeit im Internet der Dinge
Boano, C. A., Kubin, G., Bloem, R., Horn, M., Pernkopf, F., Zakany, N., Mangard, S., Witrisal, K., Römer, K. U., Aichernig, B., Bösch, W., Baunach, M. C., Tappler, M., Malenko, M., Weiser, S., Eichlseder, M., Leitinger, E., Grosinger, J., Großwindhager, B., Ebrahimi, M., Alothman Alterkawi, A. B., Knoll, C., Teschl, R., Saukh, O., Rath, M., Steinberger, M., Steinbauer-Wagner, G. & Tranninger, M.
1/01/16 → 31/03/22
Projekt: Forschungsprojekt