Development and Optimization of new Photoresists for Semiconductors

Verena Schenk, Lisa Ellmaier, Franz Stelzer, Frank Wiesbrock

Institut für Chemische Technologie von Materialien (6380)

Publikation: Konferenzbeitrag › (Altdaten) Vortrag oder Präsentation

1 Ergebnisse

Abgeschlossen
Surface chemistry and adhesive properties of designed photoresist polymers
Fimberger, M., Mühlbacher, I., Stelzer, F., Schenk, V. & Wiesbrock, F.
1/01/10 → 31/12/13
Projekt: Forschungsprojekt