Projekte pro Jahr
Originalsprache | englisch |
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Seiten (von - bis) | H340-H345 |
Fachzeitschrift | Journal of the Electrochemical Society |
Jahrgang | 156 |
Ausgabenummer | 5 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2009 |
Treatment code (Nähere Zuordnung)
- Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)
- Experimental
Projekte
- 1 Abgeschlossen
-
Advanced Process Control (APC) for Semiconductor Processing Equipment (II)
Hofbaur, M., Staudegger, F. & Dourdoumas, N.
1/08/05 → 31/07/07
Projekt: Forschungsprojekt