An Optical Profilometer for Characterizing Complex Surfaces under High Vacuum Conditions

Katrin Fladischer; D Litwin; J Galas; Roland Lammegger; A. Weeks; D MacLaren; Heinrich Sormann; Wolfgang Ernst; Bodil Holst

doi:10.1016/j.precisioneng.2007.08.001

An Optical Profilometer for Characterizing Complex Surfaces under High Vacuum Conditions

Katrin Fladischer, D Litwin, J Galas, Roland Lammegger, A. Weeks, D MacLaren, Heinrich Sormann, Wolfgang Ernst, Bodil Holst

Publikation: Beitrag in einer Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

Originalsprache	englisch
Seiten (von - bis)	182-185
Fachzeitschrift	Precision engineering
Jahrgang	32
Ausgabenummer	3
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2007.08.001
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2008

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Advanced Materials Science

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10.1016/j.precisioneng.2007.08.001

1 Abgeschlossen
1 Laufend

Oberflächenphysik
Tamtögl, A. & Ernst, W.
1/01/07 → …
Projekt: Arbeitsgebiet
EU - INA - Abbildungsverfahren mit nicht geladenen Atomen
Ernst, W. & Holst, B.
1/07/04 → 31/12/07
Projekt: Forschungsprojekt

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TY - JOUR

T1 - An Optical Profilometer for Characterizing Complex Surfaces under High Vacuum Conditions

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PY - 2008

Y1 - 2008

U2 - 10.1016/j.precisioneng.2007.08.001

DO - 10.1016/j.precisioneng.2007.08.001

M3 - Article

VL - 32

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EP - 185

JO - Precision engineering

JF - Precision engineering

IS - 3

ER -

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Fields of Expertise

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Projekte

Oberflächenphysik

EU - INA - Abbildungsverfahren mit nicht geladenen Atomen

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