An EBIC and SRP study on thermal donors in proton implanted p-type magnetic Czochralski silicon

Martin Faccinelli, Stefan Kirnstötter, Werner Schustereder, Johannes G. Laven, Peter Hadley

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikel

Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)1610-1642
FachzeitschriftPhysica Status Solidi / C
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2014

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Experimental

Dieses zitieren