Alternative Patterning Strategies for Reduced Thermal Stress during Focused Ion Beam Processing

Harald Plank, Roland Schmied, Evelin Fisslthaler, Boril Chernev, Claudia Mayrhofer

Publikation: Konferenzbeitrag(Altdaten) Vortrag oder Präsentation

Originalsprachedeutsch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 5 Sept. 2011
Veranstaltung10th Multinational Congress on Microscopy: MCM 2011 - Urbino, Italien
Dauer: 4 Sept. 20119 Sept. 2011

Konferenz

Konferenz10th Multinational Congress on Microscopy
KurztitelMCM2011
Land/GebietItalien
OrtUrbino
Zeitraum4/09/119/09/11

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)
  • My Favorites
  • Application
  • Experimental

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