Alternative Patterning Strategies for Reduced Thermal Stress during Focused Ion Beam Processing

Harald Plank, Roland Schmied, Evelin Fisslthaler, Boril Chernev, Claudia Mayrhofer

Publikation: Konferenzbeitrag(Altdaten) Vortrag oder Präsentation

Originalsprachedeutsch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 5 Sep 2011
VeranstaltungMCM 2011 - Urbino, Italien
Dauer: 4 Sep 20119 Sep 2011

Konferenz

KonferenzMCM 2011
LandItalien
OrtUrbino
Zeitraum4/09/119/09/11

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)
  • My Favorites
  • Application
  • Experimental

Projekte

Functional Nanostructures

Dohr, J. & Plank, H.

1/01/09 → …

Projekt: Foschungsprojekt

Dieses zitieren

Plank, H., Schmied, R., Fisslthaler, E., Chernev, B., & Mayrhofer, C. (2011). Alternative Patterning Strategies for Reduced Thermal Stress during Focused Ion Beam Processing. MCM 2011, Urbino, Italien.