Alternative Patterning Strategies for Reduced Thermal Stress during Focused Ion Beam Processing

Harald Plank, Roland Schmied, Evelin Fisslthaler, Boril Chernev, Claudia Mayrhofer

Publikation: Konferenzbeitrag(Altdaten) Vortrag oder Präsentation

Originalsprachedeutsch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 5 Sep 2011
VeranstaltungMCM 2011 - Urbino, Italien
Dauer: 4 Sep 20119 Sep 2011

Konferenz

KonferenzMCM 2011
Land/GebietItalien
OrtUrbino
Zeitraum4/09/119/09/11

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)
  • My Favorites
  • Application
  • Experimental

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