Alternative Pattering Strategies for Reduced Thermal Stress during Focused Ion Beam Processing

Harald Plank, Roland Schmied, Evelin Fisslthaler, Boril Stefanov Chernev, Claudia Mayrhofer

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/KonferenzbandBeitrag in einem Konferenzband

Originalspracheenglisch
TitelMultinational Congress on Microscopy
Herausgeber (Verlag).
Seiten131-132
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2011
VeranstaltungMultinational Congress on Microscopy - Graz, Österreich
Dauer: 30 Aug 20094 Sep 2009

Konferenz

KonferenzMultinational Congress on Microscopy
LandÖsterreich
OrtGraz
Zeitraum30/08/094/09/09

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)

Dieses zitieren