Originalsprache | englisch |
---|---|
Seiten (von - bis) | 2430-ff |
Fachzeitschrift | Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films |
Jahrgang | A5 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 1987 |
Treatment code (Nähere Zuordnung)
- Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)
- Experimental