A Variable Gas Injection System for Rapid Precursor Testing in Focused Electron Beam Induced Deposition

Robert Winkler, Georg Arnold, Jürgen Sattelkow, Andrew Smith, Harald Plank

Publikation: KonferenzbeitragPosterForschung

Originalspracheenglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2018
VeranstaltungTagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft e.V. - Berlin, Deutschland
Dauer: 11 Mär 201816 Mär 2018

Konferenz

KonferenzTagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft e.V.
KurztitelDPG-Tagung
LandDeutschland
OrtBerlin
Zeitraum11/03/1816/03/18

ASJC Scopus subject areas

  • !!Materials Science(all)

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

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Winkler, R., Arnold, G., Sattelkow, J., Smith, A., & Plank, H. (2018). A Variable Gas Injection System for Rapid Precursor Testing in Focused Electron Beam Induced Deposition. Postersitzung präsentiert bei Tagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft e.V., Berlin, Deutschland.