A Variable Gas Injection System for Rapid Precursor Testing in Focused Electron Beam Induced Deposition

Robert Winkler, Georg Arnold, Jürgen Sattelkow, Andrew Smith, Harald Plank

Publikation: KonferenzbeitragPosterForschung

Originalspracheenglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2018
VeranstaltungTagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft e.V. - Berlin, Deutschland
Dauer: 11 Mär 201816 Mär 2018

Konferenz

KonferenzTagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft e.V.
KurztitelDPG-Tagung
LandDeutschland
OrtBerlin
Zeitraum11/03/1816/03/18

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  • !!Materials Science(all)

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science

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Winkler, R., Arnold, G., Sattelkow, J., Smith, A., & Plank, H. (2018). A Variable Gas Injection System for Rapid Precursor Testing in Focused Electron Beam Induced Deposition. Postersitzung präsentiert bei Tagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft e.V., Berlin, Deutschland.

A Variable Gas Injection System for Rapid Precursor Testing in Focused Electron Beam Induced Deposition. / Winkler, Robert; Arnold, Georg; Sattelkow, Jürgen; Smith, Andrew; Plank, Harald.

2018. Postersitzung präsentiert bei Tagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft e.V., Berlin, Deutschland.

Publikation: KonferenzbeitragPosterForschung

Winkler, R, Arnold, G, Sattelkow, J, Smith, A & Plank, H 2018, 'A Variable Gas Injection System for Rapid Precursor Testing in Focused Electron Beam Induced Deposition' Tagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft e.V., Berlin, Deutschland, 11/03/18 - 16/03/18, .
Winkler R, Arnold G, Sattelkow J, Smith A, Plank H. A Variable Gas Injection System for Rapid Precursor Testing in Focused Electron Beam Induced Deposition. 2018. Postersitzung präsentiert bei Tagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft e.V., Berlin, Deutschland.
Winkler, Robert ; Arnold, Georg ; Sattelkow, Jürgen ; Smith, Andrew ; Plank, Harald. / A Variable Gas Injection System for Rapid Precursor Testing in Focused Electron Beam Induced Deposition. Postersitzung präsentiert bei Tagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft e.V., Berlin, Deutschland.
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TY - CONF

T1 - A Variable Gas Injection System for Rapid Precursor Testing in Focused Electron Beam Induced Deposition

AU - Winkler, Robert

AU - Arnold, Georg

AU - Sattelkow, Jürgen

AU - Smith, Andrew

AU - Plank, Harald

PY - 2018

Y1 - 2018

M3 - Poster

ER -