A methodology for predictive maintenance in semiconductor manufacturing

Peter Scheibelhofer; Dietmar Gleispach; Guenther Hayderer; Ernst Stadlober

A methodology for predictive maintenance in semiconductor manufacturing

Peter Scheibelhofer, Dietmar Gleispach, Guenther Hayderer, Ernst Stadlober

Institut für Statistik (5060)

Publikation: Beitrag in einer Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

Originalsprache	englisch
Seiten (von - bis)	161-173
Fachzeitschrift	Austrian Journal of Statistics
Jahrgang	41
Ausgabenummer	3
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2012

Fields of Expertise

Information, Communication & Computing

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http://www.stat.tugraz.at/AJS/

Statistische Modellierung.
Stadlober, E. & Friedl, H.
1/01/90 → …
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TY - JOUR

T1 - A methodology for predictive maintenance in semiconductor manufacturing

AU - Scheibelhofer, Peter

AU - Gleispach, Dietmar

AU - Hayderer, Guenther

AU - Stadlober, Ernst

PY - 2012

Y1 - 2012

UR - http://www.stat.tugraz.at/AJS/

M3 - Article

SN - 1026-597X

VL - 41

SP - 161

EP - 173

JO - Austrian Journal of Statistics

JF - Austrian Journal of Statistics

IS - 3

ER -

A methodology for predictive maintenance in semiconductor manufacturing

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Statistische Modellierung.

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