A methodology for predictive maintenance in semiconductor manufacturing

Peter Scheibelhofer, Dietmar Gleispach, Guenther Hayderer, Ernst Stadlober

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikel

Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)161-173
FachzeitschriftAustrian Journal of Statistics
Jahrgang41
Ausgabenummer3
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2012

Fields of Expertise

  • Information, Communication & Computing

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Application

Projekte

Statistische Modellierung.

Stadlober, E. & Friedl, H.

1/01/90 → …

Projekt: Arbeitsgebiet

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