A Method to Measure the Total Scattering Cross Section and Effective Beam Gas Path Length in a Low-Vacuum SEM

Johannes Rattenberger; Julian Wagner; Hartmuth Schröttner; Stefan Mitsche; Armin Zankel

doi:10.1002/sca.20148

A Method to Measure the Total Scattering Cross Section and Effective Beam Gas Path Length in a Low-Vacuum SEM

Johannes Rattenberger, Julian Wagner, Hartmuth Schröttner, Stefan Mitsche, Armin Zankel

Institut für Elektronenmikroskopie und Nanoanalytik (5190)

Publikation: Beitrag in einer Fachzeitschrift › Artikel › Begutachtung

Originalsprache	englisch
Seiten (von - bis)	1-7
Fachzeitschrift	Scanning
Ausgabenummer	31
DOIs	https://doi.org/10.1002/sca.20148
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2009

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Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)

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10.1002/sca.20148

1 Laufend
2 Abgeschlossen

Imaging of materials surfaces and nanostructuring
Wagner, J.
1/01/05 → …
Projekt: Arbeitsgebiet
Kontrast Mechanismen in "Low Vacuum" und "Environmental" Rasterelektronenmikroskopen
Wagner, J., Zankel, A. & Schmied, M. M.
1/10/03 → 31/01/04
Projekt: Arbeitsgebiet
Rasterelektronenmikroskopie, Röntgenspektrometrie und Kristallstrukturanalyse
Schmied, M. M., Zankel, A., Wagner, J., Elis, C., Schröttner, H., Bahr, P. & Reichmann, A.
1/01/95 → 31/01/03
Projekt: Arbeitsgebiet

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TY - JOUR

T1 - A Method to Measure the Total Scattering Cross Section and Effective Beam Gas Path Length in a Low-Vacuum SEM

AU - Rattenberger, Johannes

AU - Wagner, Julian

AU - Schröttner, Hartmuth

AU - Mitsche, Stefan

AU - Zankel, Armin

PY - 2009

Y1 - 2009

U2 - 10.1002/sca.20148

DO - 10.1002/sca.20148

M3 - Article

SN - 0161-0457

SP - 1

EP - 7

JO - Scanning

JF - Scanning

IS - 31

ER -

A Method to Measure the Total Scattering Cross Section and Effective Beam Gas Path Length in a Low-Vacuum SEM

Treatment code (Nähere Zuordnung)

Zugriff auf Dokument

Projekte

Imaging of materials surfaces and nanostructuring

Kontrast Mechanismen in "Low Vacuum" und "Environmental" Rasterelektronenmikroskopen

Rasterelektronenmikroskopie, Röntgenspektrometrie und Kristallstrukturanalyse

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