A Method to Measure the Total Scattering Cross Section and Effective Beam Gas Path Length in a Low-Vacuum SEM

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)1-7
FachzeitschriftScanning
Ausgabenummer31
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2009

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)

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