A combined X-ray, ellipsometry and atomic force microscopy study on thin parylene-C films

Heinz-Georg Flesch, Oliver Werzer, Martin Weis, Jan Jakabovic, Jaroslav Kovac, Daniel Hasko, Georg Jakopic, Harry J Wondergem, Roland Resel

Publikation: Beitrag in einer FachzeitschriftArtikel

Originalspracheenglisch
Seiten (von - bis)1727-1730
FachzeitschriftPhysica status solidi / A
Jahrgang206
Ausgabenummer8
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2009

Treatment code (Nähere Zuordnung)

  • Basic - Fundamental (Grundlagenforschung)
  • Experimental

Dieses zitieren