3D MEMS and IC Integration

Maaike Margrete Visser Taklo, Nicolas Lietaer, Hannah Rosquist Tofteberg, Timo Seppänen, Josef Prainsack, Josef Weber, Peter Ramm

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/KonferenzbandBeitrag in einem Konferenzband

Originalspracheenglisch
TitelSymposium E: Materials and Technologies for 3-D Integration
Herausgeber (Verlag).
Seiten1-8
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2008
VeranstaltungMaterials Research Society Fall Meeting - Boston, USA / Vereinigte Staaten
Dauer: 1 Dez 20085 Dez 2008

Konferenz

KonferenzMaterials Research Society Fall Meeting
LandUSA / Vereinigte Staaten
OrtBoston
Zeitraum1/12/085/12/08

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