Dünnschichttechnologie

Projekt: Arbeitsgebiet

Beschreibung

Dünnfilme werden im allgemeinen verwendet, um die Oberflächeneigenschaften der Feststoffe zu verbessern, zB ändern sie die Transmission, Reflexion, Härte, Abriebfestigkeit und viele weitere Eigenschaften eines Schüttguts. Innovative Dünnschichttechnologien wie initiated Chemical Vapor Deposition, Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition und Atomic Layer Deposition werden untersucht.
StatusLaufend
Tatsächlicher Beginn/ -es Ende1/10/15 → …