Quantitative Elementverteilungsbilder mittels abbildendem Energiefilter

An ein 200 kV Transmissionselektronenmikroskop wurde ein abbildendes Energiefilter (Gatan Imaging Filter) angeschlossen. Mit diesem Gerät können parallele EEL-Spektren von sehr kleinen Probenbereichen und auch Elementverteilungsbilder mit Nanometerauflösung aufgenommen werden. Im Rahmen des Projektes wurden vor allem methodische Entwicklungen durchgeführt, wie z.B. 1. Verbesserung der Probenpräparation durch Entwicklung einer Flachwinkelionendünnungsanlage; 2. Computerprogramme für die Bildauswertung (Korrelation von Elementverteilungsbildern); 3. Quantitative Auswertung von Elementverteilungsbildern. Das abbildende Energiefilter wurde bei einer Vielzahl von aktuellen materialwissenschaftlichen Problemstellungen eingesetzt, so z.B. Für die Charakterisierung von Ausscheidungen und Korngrenzen in Stählen und Legierungen, Gefügeanalyse von heterogenen Keramiken, elektronischen Bauelementen, Verbundwerkstoffen und Poymeren.