Projektdetails
| Status | Abgeschlossen |
|---|---|
| Tatsächlicher Beginn/ -es Ende | 1/10/99 → 31/05/00 |
Photoresist Entfernung auf integrierten Schaltungen unter Verwendung von Ozon
- Gamse, Thomas (Teilnehmer (Co-Investigator))
- Marr, Rolf-Jürgen (Teilnehmer (Co-Investigator))
Projekt: Forschungsprojekt