Optische Anordnung für Ellipso - Optische Anordnung für Spektroskopische Ellipsometrie

Schennach, Robert (Teilnehmer (Co-Investigator))
Kornschober, Martin (Teilnehmer (Co-Investigator))
Gilli, Eduard (Projektleiter (Principal Investigator))

Institut für Festkörperphysik (5130)

Projekt: Foschungsprojekt

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2011

Optische Anordnung für Ellipsometrie
Gilli, E., Schennach, R. & Kornschober, M., 15 März 2011, Patent Nr. AT 508690 A1
Publikation: Schutzrecht › Patent
Optische Anordnung für Ellpisometrie
Gilli, E., Schennach, R. & Kornschober, M., 3 März 2011, Patent Nr. WO 2011/022745
Publikation: Schutzrecht › Patent