Vielschicht-Analyse: Bestimmung der Dicke und der Zusammensetzung einzelner Schichten in Vielschichtsystemen im Rasterelektronenmikroskop

Mittels SEM-EDX sowie EPMA ist die gleichzeitige Messung von Dicke und chemischer Zusammensetzung sowohl freitragender Filme als auch von Filmen auf Substraten bis zu einer minimalen Dicke von etwa 2 nm mit hoher Genauigkeit möglich. Dazu wird das Verhältnis der Intensitäten einer Röntgenlinie eines Schichtelementes und desselben Elementes aus einem massiven Standard verwendet. In der Röntgenanalyse massiver Proben verwendet man üblicherweise Standards, die der unbekannten Probe so weit als möglich gleichen. Eventuelle Fehler in den zugrundeliegenden Rechenmodellen können dadurch ausgeglichen werden. Im Falle dünner Filme ist dies im allgemeinen nicht möglich. Dadurch lassen sich zahlreiche Aussagen über die Bedeutung und die Genauigkeit der grundlegenden Formeln und Parameter der theoretischen Modelle gewinnen.