Mikro- und Ultramikrohärtemessung im Rasterelektronenmikroskop

Härtemessungen bei sehr niedrigen Lasten ermöglichen die Bestimmung der Härte sehr dünner Schichten, kleiner Phasen und von Teilchen. Außerdem kann der Einfluß einer Oberflächenbehandlung auf die Eigenschaften der Oberfläche ermittelt werden. Für die Messungen steht ein im Rasterelektronenmikroskop einsetzbarer Ultramikrohärtetester zur Verfügung. Im Bereich kleiner Lasten ist die gemessene Härte von der Last abhängig. Verschiedene Theorien versuchen, diese Abhängigkeit auf Reibung der Spitze während des Eindringens, Spitzenverrundung, Zahl und Art der Versetzungen, Oberflächenspannung, ... zurückzuführen. Trotzdem ist diese Abhängigkeit noch nicht eindeutig geklärt. Ziel der Untersuchung ist auch die Anwendbarkeit von Mikrohärtemessungen in der Mineralogie.