Niederenergieröntgenspektrometrie am Feldemissionsrasterelektronenmikroskop

  • Pölt, Peter (Teilnehmer (Co-Investigator))
  • Golob, Peter, (Projektleiter (Principal Investigator))

Projekt: Foschungsprojekt

Beschreibung

Rasterelektronenmikroskopie bei niedrigen Energien ermöglicht sowohl eine hohe laterale Auflösung als auch eine geringe Informationstiefe. Dadurch ist die Bestimmung der chemischen Zusammensetzung von dünnen Schichten und kleinen Phasen und Einschlüssen möglich.
Es ist noch nicht geklärt, ob die für die Quantifizierung verwendeten theoretischen Modelle, die bisher nur für hohe Energien getestet wurden, auch im Niederenergiebereich gültig sind.
Probleme bereiten außerdem die in diesem Energiebereich häufigen Überlappungen der Röntgenpeaks und deren asymmetrische Form.
StatusAbschlussdatum
Tatsächlicher Beginn/ -es Ende1/09/9631/12/97