FWF - Si-Het - Flüssigphasenabscheidung von Siliziumheterostrukturen

Erklärtes Ziel dieses Antrags ist die Untersuchung der Flüssigphasenabscheidung von Siliziumheterostrukturen. Die Herstellung von elektronischen Bauelementen mittels Lösungsverfahren hat aufgrund der Möglichkeit einer kostengünstigen Herstellung von großen Flächen große Aufmerksamkeit erregt. Für dieses Projekt sollen bisher unbekannte heteroelementsubstituierte höhere Siliziumhydride synthetisiert werden, die ein oder mehrere kovalent an Silizium gebundene Heteroatome enthalten. Die resultierenden Materialien sollen dann als Single Source-Precursoren für die Abscheidung funktioneller Siliziumschichten eingesetzt werden. Im Falle einer erfolgreichen Durchführung des Projekts werden erstmals neue Klassen von funktionalisierten höheren Siliziumhydriden zur Verfügung stehen. Darüber hinaus werden die geplanten Forschungsarbeiten den Zugang zu bisher unbekannten Verfahren zur Herstellung von Silizium-Heterostrukturen ermöglichen, die für die akademische und industrielle Elektronikforschung von hoher Bedeutung sind.