EPPL - Enhanced Power Pilot Line

Projekt: Foschungsprojekt

Beschreibung

Mehrere neue Halbleiter-Leistungselektronik Fertigungslinien werden in Europa hergestellt. Dieses Projekt untersucht die physikalischen Grundlagen, auf denen diese Geräte basieren. In eine voll funktionsfähige Pilotanlage wird die Evaluierung und Implementierung von neuen Geräten, Materialien und Automatisierungs-Tools untersucht. Dies wird besonders an Material Stacks in Metallisierungslagen und Waferrückseite gelten.
StatusAbschlussdatum
Tatsächlicher Beginn/ -es Ende1/04/1331/03/16