EFTEM-EELS Untersuchung von dünnen RTP-Vanadiumnitrid-Schichten auf Silizium

  • Warbichler, Peter, (Teilnehmer (Co-Investigator))
  • Brunegger, Albert, (Teilnehmer (Co-Investigator))
  • Hofer, Ferdinand (Projektleiter (Principal Investigator))
  • Brunegger, Margit (Teilnehmer (Co-Investigator))

Projekt: Arbeitsgebiet

Beschreibung

Dünne VN-Schichten, die mittels RTP-Prozess auf Si-Einkristallen abgeschieden wurden, werden mittels Analytischer Elektronenmikroskopie in bezug auf die lokale chemische Zusammensetzung analysiert. Mit Hilfe von EFTEM-Elementverteilungsbildern und STEM-EELS Linescans konnten anhand von TEM-Querschnittsproben die Verteilung der Elemente V, N und O bestimmt werden. Die Ergebnisse wurden mit SIMS-Messungen verglichen.
StatusAbschlussdatum
Tatsächlicher Beginn/ -es Ende1/05/9931/12/01