Projektdetails
Beschreibung
Chemical and physical proüperties of higher silicon hydrides like cyclopentasilane or neopentasilane are investigated with respect to their applicability as precursors for the deposition of silicon layers for electronic industry
| Status | Laufend |
|---|---|
| Tatsächlicher Beginn/ -es Ende | 1/10/07 → … |
Fingerprint
Erkunden Sie die Forschungsthemen, die von diesem Projekt angesprochen werden. Diese Bezeichnungen werden den ihnen zugrunde liegenden Bewilligungen/Fördermitteln entsprechend generiert. Zusammen bilden sie einen einzigartigen Fingerprint.