Analytische Charakterisierung von dünnen Schichten in Halbleiterbauelementen und magnetischen Schichtsystemen mittels EFTEM und EELS

  • Grogger, Werner (Projektleiter (Principal Investigator))
  • Hofer, Ferdinand (Teilnehmer (Co-Investigator))
  • Brunegger, Albert, (Teilnehmer (Co-Investigator))
  • Warbichler, Peter, (Teilnehmer (Co-Investigator))
  • Kothleitner, Gerald (Teilnehmer (Co-Investigator))

Projekt: Arbeitsgebiet

Beschreibung

Mit Hilfe von EFTEM-Elementverteilungsbildern und magnetischen schichtsystemen chemische Defekte mit Nanometerdimensionen in Halbleiterbauelementen detektiert, die dann mit quantitativer EELS-Spektrometrie analysiert werden. Mit Hilfe eines gemeinsam mit Gatan entwickelten Programmes kann das STEM und das Energiefilter so gesteuert werden, sodass EELS-Linescans mit Nanometerauflösung aufgenommen werden können.
StatusAbschlussdatum
Tatsächlicher Beginn/ -es Ende1/01/9931/12/05