Analyse und Optimierung eines Inline-Coolers

Projekt: Foschungsprojekt

Beschreibung

Bei der Herstellung von Mikrochips in der Halbleiterindustrie werden die Oberflächen von Wafern aus Silizium mit Hilfe flüssiger Ätzmittel bearbeitet. Entsprechende Anlagen mit innovativer Technologie werden vom Kooperationspartner entwickelt und weltweit vermarktet. Die Siliziumscheiben werden dabei in einer rotierenden Halterung aufgespannt, und die zu bearbeitete Oberfläche wird mittels einer Zufuhreinrichtung mit der Ätzflüssigkeit benetzt. Dazu existiert eine Reihe von Nassätzverfahren, wobei verschiedenste Ätzmittel bei völlig unterschiedlichen Temperaturen zum Einsatz kommen. In diesem Zusammenhang ist die für den jeweiligen Prozess korrekte Temperatur des Mediums der entscheidende Faktor. Hinsichtlich der klimatischen Verhältnisse, die starken Einfluss auf die Lagerbedingungen für die äußerst aggressiven Ätzmedien haben, wird von dem internationalen Kundenkreis des Kooperationspartners hohe Flexibilität der Anlagen gefordert. Dies stellt hohe Anforderungen an die Wärmeübertragungseinheiten. In der Grundkonzeption wird eine Kombination aus insgesamt vier Einheiten verwendet, um die Temperaturkonstanz des Mittels am Betriebspunkt zu gewährleisten. In der vorliegenden Diplomarbeit wurde dieses System im Hinblick auf Verbesserungen des Wärmeüberganges und des Handlings, Verringerung der Abkühlzeiten und Erhöhung der Wirtschaftlichkeit analysiert, und Möglichkeiten zur Realisierung dieser Ziele wurden aufgezeigt.
StatusAbschlussdatum
Tatsächlicher Beginn/ -es Ende1/09/0128/02/02