20082030

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2011

X-ray Lithography: fundamentals and applications

Tormen, M., Grenci, G., Marmiroli, B. & Romanato, F., 2011, Nanolithography. 1 Aufl. London (UK), Hoboken (USA): ISTE-Wiley, S. 1-325

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/KonferenzbandBeitrag in Buch/BerichtForschung