ZnO thin films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition: material properties in and outside the ALD window

Aktivität: Vortrag oder PräsentationVortrag bei Konferenz oder FachtagungScience to science

Zeitraum28 Juni 2019
EreignistitelEuroCVD 22 Baltic ALD 16 Conference
VeranstaltungstypKonferenz
OrtLuxembourg, LuxemburgAuf Karte anzeigen

Fields of Expertise

  • Advanced Materials Science