Study of the properties of Al:ZnO thin films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition

Pilz, J. (Redner/in), Benjamin Sorgmann (Beitragende/r), Perrotta, A. (Beitragende/r), Coclite, A. M. (Beitragende/r)

Aktivität: Vortrag oder PräsentationVortrag bei Konferenz oder FachtagungScience to science

Zeitraum11 Jun 2019
VeranstaltungstypKonferenz
OrtNaples, Italien

Keywords

  • Advanced Materials Science