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Study of the properties of Al:ZnO thin films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition
Julian Pilz (Redner/in)
Benjamin Sorgmann (Beitragende/r)
Alberto Perrotta (Beitragende/r)
Coclite, A. M.
(Beitragende/r)
Institut für Festkörperphysik (5130)
Aktivität
:
Vortrag oder Präsentation
›
Vortrag bei Konferenz oder Fachtagung
›
Science to science
Zeitraum
11 Juni 2019
Ereignistitel
24th International Symposium on Plasma Chemistry
Veranstaltungstyp
Konferenz
Ort
Naples, Italien
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Fields of Expertise
Advanced Materials Science