Influence of Substrate Temperature on Structural, Optical, and Electrical Properties of ZnO Deposited by Plasma-Enhanced Atomic Layer Depositon

Pilz, J. (Redner/in), Perrotta, A. (Beitragende/r), Coclite, A. M. (Beitragende/r)

Aktivität: Vortrag oder PräsentationVortrag bei Konferenz oder FachtagungScience to science

Zeitraum11 Sep 2018
Gehalten am68th Annual Meeting of the Austrian Physical Society
VeranstaltungstypKonferenz
Konferenznummer68
OrtGraz, Österreich

Keywords

  • Advanced Materials Science