Efficient Temperature Profile Estimation for Silicon Wafers Based on Subspace Observers

Tranninger, M. (Redner/in)

Aktivität: Vortrag oder PräsentationVortrag bei Konferenz oder FachtagungScience to science

Zeitraum12 Jul 202017 Jul 2020
EreignistitelIFAC 2020 World Congress: Automatic Control – Meeting Societal Challenges
VeranstaltungstypKonferenz
OrtVirtuell, Deutschland
BekanntheitsgradInternational