Efficient Temperature Profile Estimation for Silicon Wafers Based on Subspace Observers

  • Markus Tranninger (Redner/in)

Aktivität: Vortrag oder Präsentation › Vortrag bei Konferenz oder Fachtagung › Science to science

Zeitraum12 Juli 2020 → 17 Juli 2020
EreignistitelIFAC 2020 World Congress: Automatic Control – Meeting Societal Challenges
VeranstaltungstypKonferenz
OrtVirtuell, DeutschlandAuf Karte anzeigen
BekanntheitsgradInternational

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